上海医美诊所执业许可备案的审批一般按照以下流程进行：

提交申请材料：申请人需要准备并提交包括以下资料：申请表、法定代表人身份证明、营业执照、诊所环境平面图、医生执业证书、医疗器械购置证明等相关材料。

材料审核：上海市卫生健康委员会会对提交的申请材料进行审核，核实申请材料的真实性、完整性和符合性。

现场勘察：如有需要，卫生健康委员会会进行现场勘察，检查诊所的设施、设备、卫生条件等是否符合要求。

技术审查：对于医美诊所，可能还需要进行技术审查，以确保医学美容技术、操作流程和设备符合相关资质要求。

审批与备案：经过审核、现场勘察和技术审查后，卫生健康委员会会根据评估结果进行审批，并发放执业许可证，同时将诊所信息纳入备案系统。